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DHM VS 白光干涉仪WLI | DHM VS 共聚焦激光扫描显微镜 | DHM VS 接触式表面轮廓仪 | ||||||
2 点主要区别: 1、 DHM®相干长度是400μm,而WLI只有15μm。实际上,这意味着与DHM®聚焦比得上标准的光学显微镜。相反,使用WLI,用户需要搜索条纹,倾斜样本使样本在这个表面小范围内测量。 2、 DHM®是一个更灵活的仪器,因为它使用物镜通过玻璃或者浸入式从光学显微镜测量。WLI要求特定的干涉仪物镜有限定且复杂的玻璃补偿。 | 2点主要区别: 1、 DHM®垂直分辨率并不依赖于放大倍数,即显微镜物镜的数值孔径(NA)。与此相反,CLSM的垂直分辨率依赖于焦点的深度,而其会降低物镜的NA。 2、 DHM®垂直分辨率达到亚纳米精度,而CLSM使用高NA物镜对样品形貌*终的垂直分辨率分辨率只是几纳米。 | 主要区别: 除了相比任何扫描方法的优势外,DHM®是一个非接触式光学表面光度仪,由于非接触方法可防止任何接触损害。采用表面光洁度轮廓仪(如探针式轮廓仪和AFM)的测量,可能会因表面的弹性变形、探针拖动污垢或损坏的探针而受到影响。 | ||||||
Features | DHM | WLI | Features | DHM | CLSM | Features | DHM® | 轮廓仪 |
时间分辨测量 | √ | × | 时间分辨测量 | √ | × | 时间分辨率测量 | √ | × |
样品设置,不需要倾斜样品 | √ | × | 对曲率的数字补偿有很大的深度 | √ | × | 快速筛选表面,寻找感兴趣区域 | √ | × |
直观聚焦的大垂直可视化范围 | √ | × | 可拆卸和灵活的仪表头 | √ | × | 通过玻璃和浸入式测量 | √ | × |
用标准光学显微镜对玻璃进行测量 | √ | × | 非接触、无损方法 | √ | × | |||
可拆卸和灵活的仪表头 | √ | × |
参数 | ||
DHM型号 | T1000 | T2100 |
激光源数量 | 1 | 2 |
工作波长(±1.0nm) | 666 nm | 666 nm, 794 nm |
激光波长稳定性 | 0.01 nm/°C@666nm | |
样品台 | 手动或电动 XYZ 三轴样品台,**移动范围 114 mm x 76 mm x 38 mm | |
物镜 | 放大倍数 1.25x 至 100x,可选标准物镜、高NA值物镜、盖玻片矫正物镜、长工作距物镜、水镜、油镜等 | |
电脑 | Dell**工作站,Intel® 多核处理器,高性能显卡针对对 DHM®优化配置,*小21寸显示器 | |
专用软件 | Koala专用数据采集分析软件,基于C++ 和 .NET 附加专用分析软件供不同应用分析(MEMS Analysis Tool,Cell Analysis Tool,Reflectometry Analysis) | |
性能 | ||
测量模式 | 单激光波长 666 nm | 双激光合成波长8 μm |
可用该测量模式的DHM型号 | T1000, T2100 | T2100 |
测量精度[nm] | 1.04 | 1.0/5.04 |
纵向分辨率[nm] | 2.04 | 2.0/10.04 |
测量重复性[nm] | 0.024 | 0.024/0.054 |
动态可测纵向范围 | **500 μm 4 | **500 μm 4 |
**可测台阶高度 | **1.0 μm 4 | **7.0 μm 4 |
**3.5 μm 4 | **22 μm 5 | |
垂直校准 | 由干涉滤光片决定,范围±0.1 nm | |
图像采集时间 | 标准500 μs (*快可选10μs) | |
图像采集速率 | 标准30帧/秒1024x1024像素(*快可选1000帧/秒) | |
实时重建速率 | 标准25 帧/秒1024x1024像素(*快可选 100 帧/秒) | |
横向分辨率 | 由所选物镜决定,** 300 nm | |
视场 | 由所选物镜决定,范围从 66 μm x 66 μm 至 5 mm x 5 mm | |
工作距 | **50倍于景深 (由所选物镜决定) | |
样品照明 | *低1μW/cm2 |
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